一、顯微硬度計誤差的影響，儀器誤差主要反映在負荷、壓頭與顯微鏡的精度
　　1、負荷的影響：主要因素為砝碼重量超差，表現為銹蝕、損傷、表面鍍層脫落等；負荷彈簧性能變化等；負荷作用力方向與試樣不垂直，這時顯微硬度計會產生一個水平分力，使負荷減小；加荷機構上未被平衡的摩擦阻力，常常是由于機體安裝水平未調整好，或者由于主軸導向機構不對中心所引起。
　　一般來講，負荷值的誤差與硬度值誤差成正比，但方向相反。即當符合誤差為±1%時，硬度值產生的誤差為±1%。顯微硬度計硬度誤差還隨負荷的降低而增，所以在試驗條件允許的情況下，應盡可能選用較大的負荷進行試驗。
　　2、壓頭的影響：壓頭的幾何形狀和其面角與橫刃的公差應受技術條件規定的約束，否則均會對顯微硬度計硬度值造成影響，但這決定與壓頭生產的廠家。壓頭的四個三角形工作面應光滑、平整和有良好的光潔度，有條件的單位應對新的壓頭進行檢驗。在使用過程中壓頭受到損傷，如頂角磨損、壓頭工作面上附著有油污或壓頭上粘滯著某些金屬，會使壓痕邊緣粗糙和不規則，這些均會增大測量誤差，影響示值精度。
　　3、顯微鏡的精度：測微目鏡的測量精度不夠，會造成壓痕對角線的測量誤差，對顯微硬度值的影響的計算公式與維氏相同，壓痕對角線的誤差會使硬度值的誤差成倍增長，即硬度誤差是壓痕對角線誤差的兩倍。此外，物鏡放大倍數的準確性也直接影響到硬度值的計算結果。因此，顯微硬度計應該定期進行校正，即檢查和校正在倍和低倍物鏡下，測微目鏡上每一小格的實際格值。
　　其他還應注意到數值孔徑、照明條件、光學系統的質量等，這些均與獲得準確的硬度數值有關。
　　二、試樣材料的特征和加工方法的影響
　　1、試樣本身的影響
　　試樣材料有明顯的織構特征時，用顯微硬度計試驗時壓痕形狀將不規則；壓痕在一個晶粒上不同的位置，如在晶內或鄰近晶界或鄰近第二相，對所測得的結果都會有影響；如果被測晶粒極薄，壓痕會陷入底下的晶粒之中；經變形的試樣應注意縱橫斷面；即使是單相合金，對于一個晶粒與另一個晶粒的位向有所不同，也會反映出差異。綜上所述，應注意到壓痕的位置最少應距離晶界一個壓痕對角線的長度。被測晶粒的厚度至少10倍于壓痕的深度。在選擇測定位置時，宜選擇較大的晶粒和相對粗大的相，因為小的晶粒或相很可能是極薄的一片。
　　在試樣表面特征方面，如試樣表面光潔度、表面有無疏松、工作面與支撐面的不平衡度均與所測結果的準確性有影響。
　　2、試樣加工方法的影響
　　機械拋光對顯微硬度計硬度值有明顯影響，這是因為拋光時表層會產生很小的塑性變形，有表層還會產生一層很薄的非晶層，所以機械拋光所測得的顯微硬度值比電解拋光所測得的結果要。這在低負荷時（小于10克）更為明顯。不良的機械拋光，能使鋼材的顯微硬度值增25~28%，鋁合金增10~12%，銅合金增45~55%.因此，用機械拋光制備試樣時，應注意用較小的研磨壓力，盡量縮短拋光時間。有條件時，最好選用電解拋光方法。
　　三、試驗條件和操作方法的影響
　　工作室的環境條件，如室內和附近是否有產生振動的其它設備等。操作方法上如加負荷的速度、加負荷后保持的時間長短以及測試人員視力、工作熟練程度和質量等主觀因素均會造成影響。
　　除以上所述的三個主要方面的影響顯微硬度計值外，應特別提出，在顯微硬度試驗中，即使負荷本身不存在超差的情況，對于同一均勻試樣，其它試驗條件均處于理想條件下，當改變負荷時，也會出現所得硬度值不相同的情況。這是由于壓頭以一定的負荷壓入試樣表面，試樣表面上形成壓痕，當負荷去除后，壓痕將因金屬的彈性回復而稍微縮小。彈性回復是金屬的一種性能，它只與金屬的種類有關，而與產生壓痕的負荷無關。就是說，不管負荷變化如何，壓痕的大小怎樣，彈性回復幾乎都是一個定值。因此，當負荷較小時，壓痕因彈性回復而收縮的比例就比較大，所以根據回復后壓痕尺寸計算求得的顯微硬度值總是比較。此點正是研討顯微硬度試驗法是否存在“幾何相似定律”問題中的一個重要因素。
　　例如，喊3.8%Si的Fe-Si固溶體，用顯微硬度計進行不同負荷實測得的硬度值。
　　由于負荷的不同而是顯微硬度計測量中存在重復性差，難于作準確的相對比較等，對此，國內外很多研究工作者已給予關注。

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