顯微硬度計負荷應平穩、緩慢地施加，無任何振動和沖擊現象。較快的加荷速度會導致硬度值偏低，因為此時所產生的塑性變形不僅是負荷的靜態壓入，還有一部分動態作用力，從而產生動能，致使材料變形增大。這種影響隨著負荷的減小、被測試件硬度范圍的增以及負荷機構運動部件質量的增大而增大。
加荷速度也不宜過慢，過長地延長壓頭壓入時間，特別是在保荷時間較短的情況下，會產生負荷不能保持規定的時間，從而產生新的偏差。加荷速度過慢也容易受外界條件的干擾。一般不得大于50微米/秒。綜合世界各國標準試驗法的規定，加荷速度大多在15—70微米/秒的范圍內。加荷速度要根據加荷的方式以及加荷機構的特點而定，有的就要以加荷手柄的搬轉時間而定。無論哪種形式都應使加荷速度達到不影響壓痕尺寸增大的這一必要條件。
1.顯微硬度試驗具有負荷小之特點。一般作定量測定的常用負荷有50，100，200，300，500和1000克力。50克以下的負荷力多用作定性分析。
2.壓痕極小。對試樣完全無損壞。
3.具有多種形狀壓頭，可對特殊材料和形狀的試件進行測定。
4.可測定其它試驗法無法測定的小零件、薄件及鍍層；測定脆性材料或單晶及金相組織的硬度。

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