一、試樣材料的特征和加工方法的影響
　　（1）試樣本身的影響
　　試樣材料有明顯的織構特征時，壓痕形狀將不規則；壓痕在一個晶粒上不同的位置，如在晶內或鄰近晶界或鄰近第二相，對所測得的結果都會有影響；如果被測晶粒極薄，壓痕會陷入底下的晶粒之中；經變形的試樣應注意縱橫斷面；即使是單相合金，對于一個晶粒與另一個晶粒的位向有所不同，也會反映出差異。綜上所述，應注意到壓痕的位置最少應距離晶界一個壓痕對角線的長度。被測晶粒的厚度至少10倍于壓痕的深度。在維氏顯微硬度計選擇測定位置時，宜選擇較大的晶粒和相對粗大的相，因為小的晶粒或相很可能是極薄的一片。
　　在維氏顯微硬度計試樣表面特征方面，如試樣表面光潔度、表面有無疏松、工作面與支撐面的不平衡度均與所測結果的準確性有影響。
　　（2）試樣加工方法的影響
　　機械拋光對顯微硬度值有明顯影響，這是因為拋光時表層會產生很小的塑性變形，有表層還會產生一層很薄的非晶層，所以機械拋光所測得的顯微硬度值比電解拋光所測得的結果要。這在低負荷時（小于10克）更為明顯。不良的機械拋光，能使鋼材的顯微硬度值增25~28%，鋁合金增10~12%，銅合金增45~55%.因此，用機械拋光制備試樣時，應注意用較小的研磨壓力，盡量縮短拋光時間。有條件時，最好選用電解拋光方法。
　　二、試驗條件和操作方法的影響
　　工作室的環境條件，如室內和附近是否有產生振動的其它設備等。在維氏顯微硬度計操作方法上如加負荷的速度、加負荷后保持的時間長短以及測試人員視力、工作熟練程度和質量等主觀因素均會造成影響。
　　除以上所述的三個主要方面的影響因素外，應特別提出，在顯微硬度試驗中，即使負荷本身不存在超差的情況，對于同一均勻試樣，其它試驗條件均處于理想條件下，當改變負荷時，也會出現所得硬度值不相同的情況。這是由于壓頭以一定的負荷壓入試樣表面，試樣表面上形成壓痕，當負荷去除后，壓痕將因金屬的彈性回復而稍微縮小。彈性回復是金屬的一種性能，它只與金屬的種類有關，而與產生壓痕的負荷無關。就是說，不管負荷變化如何，壓痕的大小怎樣，彈性回復幾乎都是一個定值。因此，當負荷較小時，壓痕因彈性回復而收縮的比例就比較大，所以根據回復后壓痕尺寸計算求得的顯微硬度值總是比較。此點正是研討顯微硬度計試驗法是否存在“幾何相似定律”問題中的一個重要因素。
　　三、儀器誤差的影響
　　儀器誤差主要反映在負荷、壓頭與顯微鏡的精度：
　　（1）負荷的影響：主要因素為砝碼重量超差，表現為銹蝕、損傷、表面鍍層脫落等；負荷彈簧性能變化等；負荷作用力方向與試樣不垂直，這時會產生一個水平分力，使負荷減小；加荷機構上未被平衡的摩擦阻力，常常是由于機體安裝水平未調整好，或者由于主軸導向機構不對中心所引起。
　　一般來講，維氏顯微硬度計負荷值的誤差與硬度值誤差成正比，但方向相反。即當符合誤差為±1%時，硬度值產生的誤差為±1%。硬度誤差還隨負荷的降低而增，所以在試驗條件允許的情況下，應盡可能選用較大的負荷進行試驗。
　　（2）壓頭的影響：壓頭的幾何形狀和其面角與橫刃的公差應受技術條件規定的約束，否則均會對硬度值造成影響，但這決定與壓頭生產的廠家。壓頭的四個三角形工作面應光滑、平整和有良好的光潔度，有條件的單位應對新的壓頭進行檢驗。在使用過程中壓頭受到損傷，如頂角磨損、壓頭工作面上附著有油污或壓頭上粘滯著某些金屬，會使壓痕邊緣粗糙和不規則，這些均會增大測量誤差，影響示值精度。
　　（3）顯微鏡的精度：測微目鏡的測量精度不夠，會造成壓痕對角線的測量誤差，對顯微硬度值的影響的計算公式與維氏相同，壓痕對角線的誤差會使硬度值的誤差成倍增長，即硬度誤差是壓痕對角線誤差的兩倍。此外，維氏顯微硬度計物鏡放大倍數的準確性也直接影響到硬度值的計算結果。因此，儀器應該定期進行校正，即檢查和校正在倍和低倍物鏡下，測微目鏡上每一小格的實際格值。

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